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12吋接触接近式光刻光源
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技术规格
参数
12吋规格
波长
365nm
有效面积
300x300mm²
照度
5-20mw/cm²
不均匀性
≤3%
工作距离
200mm(兼容150-300mm)
外形尺寸
722x411x745mm(长x宽x高)
应用场景
FPC柔性线路板、玻璃基线路
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